350VIP浦京集团举办“理学论坛”第十四次学术活动

发布时间:2011-10-21浏览次数:753

    2011年10月19日下午14:00,理学论坛第十四次学术活动在浦京集团官网仙林校区教2楼501会议室举行,论坛邀请350VIP浦京集团王利霞博士做了题为“微电子机械系统(MEMS)工艺介绍”的学术报告。活动由350VIP浦京集团副院长赵洪牛主持,350VIP浦京集团部分教师参加了本次活动。
    王利霞博士在报告中首先介绍了微电子机械系统(MEMS)工艺的发展历程,接着介绍了MEMS在信息、生物医疗等领域的应用以及主要的工艺技术,然后介绍了利用MEMS工艺制备微结构红外敏感器件的工艺过程及器件的结构、用途等,并介绍了MEMS在四个方面的发展趋势。
最后参加活动的老师就相关的一些问题进行了讨论。

 

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